（1）采樣深度

調這個參數分兩種情況：

1、難電離元素應當適當增大采樣深度，即增加了難電離元素在等離子體中的路程，進而延遲了難電離元素在ICP中電離的時間，使難電離元素得到充分電離，但是過度的延長會增加二次電離的幾率，從而會形成雙電荷離子，因此單一看此參數的效果就和開口向的拋物線是一樣的，需要我們找到一個上佳的點；

2、易電離元素與之相反，應當適當縮短采樣深度，但是同樣的如果過度縮短采樣深度會使該電離的元素未充分電離。

綜上既要得到上佳的目標值，又要降低干擾，需要有一個指標來確認，這就是我們為什么要看調諧液各參數的信號值的原因。

（2）霧化氣

增大會增加進樣量，元素的電離量也會增大，但同時干擾的離子也會增加；而且過大的流量會使等離子體溫度降低，進而影響元素的電離率。所以需要尋找一個上佳的點，因為此參數對信號值的影響非常明顯，也是常調節的參數。

（3）霧化室溫度

來保證樣品在霧室內形成很好的霧狀樣品，一般設置為2℃。

（4）透鏡

通過改變電壓，定向選擇目標離子通過，進入次級系統。可以根據二手ICP-MS儀器實際的信號值做出相應調整。

（5）碰撞池

二手ICP-MS儀器使用的氣體一般是氦氣，因為氦氣的電離能比氬氣還大，更加穩定，更不易電離，進不用擔心再額外產生干擾離子。用氦氣去碰撞在前期等離子體中形成的多原子干擾離子，比如ArO+，將這種對Fe+產生干擾的且相對不穩定的多原子離子撞開，來消除干擾。但是應該調節好流量，過高的流量也會將目標離子撞飛，使大量目標離子無法進檢測器，從而會使信號值降到很低。